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国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多，主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出，浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟，该方法的缺点是铟锡分离率低，氧化锡渣等中含铟约1%～2%，铟直收率﹤97%。

为了进一步极限化的提高铟锡的收率，进一步简化工序，提升生产效率，减少环境污染，此次在基于氯化锡具有相对较低沸点的特性的基础上，设计了“盐酸浸出—蒸馏分离铟锡—锌或铝置换铟—蒸出锡提纯制五水氯化锡/蒸出酸回用”的技术方案，并进行了系统的试验验证。

试验结果表明，基于蒸馏法的铟锡资源化工艺可实现更彻底的铟锡分离效果：在实现99.52%的锡去除率的同时，铟的收率高达99.70%。本研究在获得更高的铟锡直收率的同时，可得到高品质的金属铟产品及副产品五水氯化锡；且蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后可回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。

ITO靶材可应用于以下领域：（1）平板显示器（FPD）产业，如薄膜晶体管显示器（TFT-LCD）、液晶显示器（LCD）、高触摸屏（TouchPanel）、等离子管显示器（PDP）、有机电致发光显示（OLED）等；（2）光伏产业，如薄膜太阳能电池；功能性玻璃，如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等。其中，平板显示器及太阳能电池是其主要应用领域。